数控CNC加工中心检测——激光干

加工中心精度检测仪器——激光干涉仪

在精度和稳定性日趋重要的今天，得到全球数以千计用户认可的XL-30激光干涉仪系统是您的理想选择。

• 性能指标

Renishaw 给出的精度指标是严格按照ISO 国际标准中关于测量不确定度的计算方法，综合了激光稳定性、传感器输出等数值和所有影响最终测量的关键参数的基础上给出的。整个系统精度的置信度达95% (k=2)，并且已经包括了实际使用中由于漂移带来的误差影响。

• 实际使用性能

世界范围内数千台ML-30 激光干涉仪的多年现场使用事实表明，在各种不同工作条件下，Renishaw 长期以来一直提供着满足甚至高于其性能指标的激光干涉仪产品，这种性能表现已不断经过第三方( 包括国内外的*********计量院，如中国计量院、德国PTB、美国NIST、英国NPL 等) 的验证。

• 精度的可溯源性

Renishaw 激光干涉仪的所有测量功能，包括直线度和角度等测量，都是基于激光干涉原理，具有对国际标准激光波长的溯源性。而那些利用电子标靶进行俯仰、扭摆和直线度误差测量系统，会影响测量精度和稳定性。

• 分离的干涉镜

Renishaw 的干涉镜与激光头分离开来，与那些将干涉镜安装在激光头上( 内部) 的仪器相比，可有效避免热漂移。

• 环境补偿

激光测量中******的不确定因素来自于环境条件( 气压、气温和湿度) 的变化。在典型条件下，这些变化可以给测量带来多达± 20 ppm 的不确定度。Renishaw 的EC10 环境补偿单元中使用了高精度的环境传感器，从而其环境补偿结果能够使系统在0~40° C 的工作范围内保持为± 0.7 ppm 的精度。

不同于以传统四象限传感器取代高精度激光波长基准来实现提高工作效率的作法，Renishaw 在保证激光波长溯源性的前提下，通过一系列针对精工设备专利设计的光学镜及特定功能等来提高效率。

从仪器预热准备，编制精工测量程序到最后更改机床参数，Renishaw 均有一系列独特技巧。

•“ 取消”预热功能

“预热”是激光干涉仪测量前为保证仪器在精度范围内工作而必须的准备过程。ML10 Gold 在短时间断电后重新通电(如从一台设备转到另一台设备测量)可立刻恢复工作状态！

• 专利设计的激光准直辅助镜

准直辅助镜极大地简化了激光光路准直必须调整三脚架的传统方法。

• 程序自动生成与传送

Renishaw LaserXL-30软件内置有FANUC、SIEMENS 等多种精工系统的测量程序编程模块，并提供与机床相通讯的接口功能以方便测试现场使用。

• 误差补偿表

不同的控制器有不同的误差补偿机理。LaserXL-30 软件可根据不同要求产生误差补偿表，只需手工将有关计算结果键入精工系统即可。

• 自动误差补偿软件

可从程序生成、传送到修改机床补偿参数实现自动化，在改善补偿精度的同时

大幅节省检测与补偿时间。

• 效果

上述功能在一用户现场，仅半天内便完成四台加工中心共计12 根坐标轴的精度自动检测与补偿。从仪器预热准备，编制精工测量程序到最后更改机床参数，Renishaw 均有一系列

独特技巧。

X-Y 平台校准(Danaher Precision Systems)频率稳定性出厂测试精工机床精度校准三测机精度校准。

XL-30 激光干涉仪由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能；提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件, 包括激光干涉仪的全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。XL-30 Gold 激光测量系统所有功能都可与LaserXL-30 软件配合使用。通过接口与IBM 兼容的PC 机(包括笔记本计算机)连接。软件控制灵活、直观，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89、GB17421-2000 等。

除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块等。